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单晶炉是生长硅单晶的主要设备,是在惰性气体环境中,通过石墨电阻加热器将 多晶硅加热融化,然后用软轴直拉法生长无位错的单晶生长设备。下图是单晶炉 图片及系...[查看详细]
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